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高低溫冷卻液測試機溫度速降高溫破壞產品廣泛應用于國內外科學研究和工藝開發(fā)、新能源汽車、生物技術、醫(yī)藥行業(yè)、航空航天、半導體、醫(yī)療技術等行業(yè)。

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溫濕度調節(jié)裝置在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣，溫度控制精度可達目標值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。

精密恒溫恒濕機在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經過此設備處理后的空氣，溫度控制精度可達目標值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。